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求助，磁控溅射生长DLC，长出来的薄膜用万用表测得电阻特别大，为什么啊？ 发自小木虫Android客户端 |
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10楼2016-10-02 09:58:27
chenjin
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3楼2016-09-30 21:51:38
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8楼2016-10-01 09:36:37
BMaxFeynman
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 用万用表测？DLC薄膜具有电绝缘性（应用于半导体）。DLC中sp2 杂化碳相和薄膜电阻率有直接关系，因此沉积工艺和离子束能量都会对电阻率有很大影响。纯DLC没必要测XRD，一般人从里面也分析不出什么结果。发自小木虫Android客户端 |
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起名字真难诶9楼2016-10-02 09:56:08
