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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

[求助] 求助,磁控溅射生长DLC 已有2人参与

求助,磁控溅射生长DLC,长出来的薄膜用万用表测得电阻特别大,为什么啊?

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BMaxFeynman

金虫 (小有名气)

金虫

引用回帖:
4楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-10-01 07:39:59
结晶质量怎么样

类金刚石薄膜是一种亚稳非晶态物质!

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10楼2016-10-02 09:58:27
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普通回帖

chenjin

铁杆木虫 (著名写手)

2楼2016-09-30 20:54:15
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

3楼2016-09-30 21:51:38
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

4楼2016-10-01 07:39:59
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-09-30 21:51:38
dlc是什么材料啊

类金刚石结构

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5楼2016-10-01 09:00:24
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chenjin at 2016-09-30 20:54:15
碳膜不导电挺正常吧。

但是在别的实验室长的膜电阻50欧左右

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6楼2016-10-01 09:01:00
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-10-01 07:39:59
结晶质量怎么样

没有看呢,实验室只有xrd

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7楼2016-10-01 09:01:48
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 起名字真难诶 at 2016-10-01 09:00:24
类金刚石结构
...

要达到什么指标呢准备?

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8楼2016-10-01 09:36:37
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BMaxFeynman

金虫 (小有名气)

金虫

用万用表测?DLC薄膜具有电绝缘性(应用于半导体)。DLC中sp2 杂化碳相和薄膜电阻率有直接关系,因此沉积工艺和离子束能量都会对电阻率有很大影响。纯DLC没必要测XRD,一般人从里面也分析不出什么结果。

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

9楼2016-10-02 09:56:08
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