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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助，磁控溅射生长DLC
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-01 09:36:37
要达到什么指标呢准备？
...

不掺杂，让电阻在几十几百欧姆左右

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11楼2016-10-02 10:54:42
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by BMaxFeynman at 2016-10-02 09:56:08
用万用表测？DLC薄膜具有电绝缘性（应用于半导体）。DLC中sp2 杂化碳相和薄膜电阻率有直接关系，因此沉积工艺和离子束能量都会对电阻率有很大影响。纯DLC没必要测XRD，一般人从里面也分析不出什么结果。
...

好吧，谢谢你

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12楼2016-10-02 10:55:21
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 起名字真难诶 at 2016-10-02 10:54:42
不掺杂，让电阻在几十几百欧姆左右
...

直接用四探针测量吗？

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13楼2016-10-02 11:26:44
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
石墨不是导电吗？跟结果发现不了异常吗？电镜有对比图吗？

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14楼2016-10-02 11:49:46
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-10-02 11:26:44
直接用四探针测量吗？
...

先用万用表测一测

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15楼2016-10-02 18:59:58
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by lqm070 at 2016-10-02 11:49:46
石墨不是导电吗？跟结果发现不了异常吗？电镜有对比图吗？

打算做做

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16楼2016-10-02 19:01:28
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天蝎座836

新虫 (小有名气)
测下xps吧

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17楼2016-10-14 00:19:13
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 天蝎座836 at 2016-10-14 00:19:13
测下xps吧

好的，谢谢

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18楼2016-10-14 10:06:26
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

DLC材料本身电阻很大，你是想知道薄膜的电阻吧？
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
19楼2016-10-18 15:32:27
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拾肆洛希

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

DLC本身就是类似于半导体的，如果石墨相的比例高可能电阻率小一点，这个可以用拉曼光谱大概比较一下，另外和基体材料、膜厚也有关系
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20楼2017-05-25 15:56:05
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