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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择

如题，之前有选择过单晶Si，但效果不理想。常用的衬底有硅之外，还有氧化铝，不锈钢，硬质合金。那么基体的选择要考虑哪些因素呢？有做这个方向的大神希望不吝赐教！！！

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1楼2016-08-31 15:55:26
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by yechaochao at 2016-08-31 16:35:28
你是用pld，用的靶材是什么

靶材是铬铝复合靶

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22楼2016-09-01 07:07:21
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by csuchenli927 at 2016-09-02 11:13:59
还有，你是匡老师那里的学生？

是说匡同春老师吗？我不是匡老师的学生，但方向非常相似，都是磁控溅射。你是华工的？

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26楼2016-09-02 16:45:11
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
25楼: Originally posted by yqwei2008 at 2016-09-02 15:54:08
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多谢。

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27楼2016-09-02 16:45:25
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
23楼: Originally posted by csuchenli927 at 2016-09-02 11:12:22
难得碰到同行，Si片不行可能是你涂层的应力大导致涂层脱落，想办法从工艺调整降低应力，另外，适当增加Si片的厚度可以一定程度上改善。
一般单晶Al2O3是用做外延生长的时候用。
其实用不锈钢片和硬质合金沉积涂层 ...

非常感谢，对我启示很大，送个红花，聊表谢意！希望以后能有机会和大神多多交流。

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28楼2016-09-02 16:48:05
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