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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择

如题，之前有选择过单晶Si，但效果不理想。常用的衬底有硅之外，还有氧化铝，不锈钢，硬质合金。那么基体的选择要考虑哪些因素呢？有做这个方向的大神希望不吝赐教！！！

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1楼 2016-08-31 15:55:26
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yechaochao

木虫 (正式写手)
★
wsl1992(金币+1): 谢谢参与
你是用pld，用的靶材是什么

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15楼2016-08-31 16:35:28
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by yechaochao at 2016-08-31 16:35:28
你是用pld，用的靶材是什么

靶材是铬铝复合靶

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22楼2016-09-01 07:07:21
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csuchenli927

金虫 (小有名气)
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难得碰到同行，Si片不行可能是你涂层的应力大导致涂层脱落，想办法从工艺调整降低应力，另外，适当增加Si片的厚度可以一定程度上改善。
一般单晶Al2O3是用做外延生长的时候用。
其实用不锈钢片和硬质合金沉积涂层做性能测试比较合适，问题是做X射线的时候基体峰会出来，选择硬质合金的时候选用Co含量低的，这样和涂层衍射峰比较近的Co峰不容易出来或者强度低。
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wsl1992
23楼2016-09-02 11:12:22
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csuchenli927

金虫 (小有名气)
还有，你是匡老师那里的学生？
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24楼2016-09-02 11:13:59
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yqwei2008

金虫 (正式写手)
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25楼2016-09-02 15:54:08
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by csuchenli927 at 2016-09-02 11:13:59
还有，你是匡老师那里的学生？

是说匡同春老师吗？我不是匡老师的学生，但方向非常相似，都是磁控溅射。你是华工的？

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26楼2016-09-02 16:45:11
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
25楼: Originally posted by yqwei2008 at 2016-09-02 15:54:08
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多谢。

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27楼2016-09-02 16:45:25
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
23楼: Originally posted by csuchenli927 at 2016-09-02 11:12:22
难得碰到同行，Si片不行可能是你涂层的应力大导致涂层脱落，想办法从工艺调整降低应力，另外，适当增加Si片的厚度可以一定程度上改善。
一般单晶Al2O3是用做外延生长的时候用。
其实用不锈钢片和硬质合金沉积涂层 ...

非常感谢，对我启示很大，送个红花，聊表谢意！希望以后能有机会和大神多多交流。

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28楼2016-09-02 16:48:05
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csuchenli927

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
26楼: Originally posted by wsl1992 at 2016-09-02 16:45:11
是说匡同春老师吗？我不是匡老师的学生，但方向非常相似，都是磁控溅射。你是华工的？
...

我不是华工，我是中南的，认识匡老师！
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29楼2016-09-03 18:38:38
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dsctg2楼
2016-08-31 15:56   回复  
wsl1992(金币+1): 谢谢参与
超级老快3楼
2016-08-31 15:59   回复  
wsl1992(金币+1): 谢谢参与
shenrenren4楼
2016-08-31 16:04   回复  
wsl1992(金币+1): 谢谢参与
怕哦哦哦5楼
2016-08-31 16:09   回复  
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多啦A梦28336楼
2016-08-31 16:14   回复  
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tzynew7楼
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bj20089898楼
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34359楼
2016-08-31 16:17   回复  
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zhchzhsh207610楼
2016-08-31 16:17   回复  
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祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福
syhorchid11楼
2016-08-31 16:23   回复  
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假大空12楼
2016-08-31 16:27   回复  
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hydzp13楼
2016-08-31 16:28   回复  
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aboluo19833114楼
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lvluohua16楼
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jyjydd17楼
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蓝鹰魂20楼
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sz_kebaoyuan21楼
2016-08-31 17:04   回复  
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