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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)


[交流] HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择

如题,之前有选择过单晶Si,但效果不理想。常用的衬底有硅之外,还有氧化铝,不锈钢,硬质合金。那么基体的选择要考虑哪些因素呢?有做这个方向的大神希望不吝赐教!!!

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csuchenli927

金虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
难得碰到同行,Si片不行可能是你涂层的应力大导致涂层脱落,想办法从工艺调整降低应力,另外,适当增加Si片的厚度可以一定程度上改善。
一般单晶Al2O3是用做外延生长的时候用。
其实用不锈钢片和硬质合金沉积涂层做性能测试比较合适,问题是做X射线的时候基体峰会出来,选择硬质合金的时候选用Co含量低的,这样和涂层衍射峰比较近的Co峰不容易出来或者强度低。

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23楼2016-09-02 11:12:22
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2016-08-31 16:17   回复  
wsl1992(金币+1): 谢谢参与
祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福
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