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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] HPPMS镀阿尔法氧化铝基体选择

如题，之前有选择过单晶Si，但效果不理想。常用的衬底有硅之外，还有氧化铝，不锈钢，硬质合金。那么基体的选择要考虑哪些因素呢？有做这个方向的大神希望不吝赐教！！！

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1楼2016-08-31 15:55:26
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wsl1992

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by yechaochao at 2016-08-31 16:35:28
你是用pld，用的靶材是什么

靶材是铬铝复合靶

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22楼2016-09-01 07:07:21
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zhchzhsh207610楼
2016-08-31 16:17   回复  
wsl1992(金币+1): 谢谢参与
祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福
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