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老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？多次测试结果都一样 @comma 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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agui123456
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【答案】应助回帖
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1）磁控沉积钛，一般情况下必定是晶态；根据膜的厚度达到200nm，沉积时间应该有10min以上了，有足够的时间形成晶态的钛膜，只是晶粒的大小和结晶度好坏的问题； 2）你的xrd结果有没有基体峰？这样厚度的膜用常规的衍射方法肯定可以测到基体峰。没有基体峰，你最好重测一下。如果有基体峰，有没有显示非晶态的那种馒头峰？可能这就是你的钛膜。你可以把测试结果和纯基体的结果对比一下看看，也许就会有发现。 3）测薄膜一般要加个薄膜附件，你要问问管设备的老师看配了没有。 你能否上传一下你测的xrd结果，具体分析一下。 |
17楼2016-08-31 20:16:57
comma
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2楼2016-08-29 16:39:47
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4楼2016-08-29 20:46:21
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5楼2016-08-29 21:19:28
peterflyer 
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10楼2016-08-31 07:36:02
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