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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

[求助] 老师你好,我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜,为什么测不到结晶峰?... 已有4人参与

老师你好,我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜,为什么测不到结晶峰?多次测试结果都一样 @comma

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薄膜制备与特性

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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是单峰?还是没有峰?
可能太薄了
试试倾斜小角度再测看看有无衍射峰?
每天一小步也有新高度
2楼2016-08-29 16:39:47
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agui123456

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
涛涛来奋斗: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-08-31 22:45:00
1)磁控沉积钛,一般情况下必定是晶态;根据膜的厚度达到200nm,沉积时间应该有10min以上了,有足够的时间形成晶态的钛膜,只是晶粒的大小和结晶度好坏的问题;
2)你的xrd结果有没有基体峰?这样厚度的膜用常规的衍射方法肯定可以测到基体峰。没有基体峰,你最好重测一下。如果有基体峰,有没有显示非晶态的那种馒头峰?可能这就是你的钛膜。你可以把测试结果和纯基体的结果对比一下看看,也许就会有发现。
3)测薄膜一般要加个薄膜附件,你要问问管设备的老师看配了没有。
你能否上传一下你测的xrd结果,具体分析一下。
17楼2016-08-31 20:16:57
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by comma at 2016-08-29 16:39:47
是单峰?还是没有峰?
可能太薄了
试试倾斜小角度再测看看有无衍射峰?

10到90度范围内测的,没有峰,多次测量结果一样,钛金属也需要退火处理吗?

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加油!
3楼2016-08-29 20:45:08
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by comma at 2016-08-29 16:39:47
是单峰?还是没有峰?
可能太薄了
试试倾斜小角度再测看看有无衍射峰?

膜厚200nm,同样厚度的铜金属薄膜、银金属薄膜都有峰

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加油!
4楼2016-08-29 20:46:21
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xcjt2020

木虫 (正式写手)

您好!能不能给我发一点,我是做非晶合金等我,如果是非晶呢!据说已经有了单质非晶

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5楼2016-08-29 21:19:28
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2016-08-29 20:45:08
10到90度范围内测的,没有峰,多次测量结果一样,钛金属也需要退火处理吗?
...

那这个薄膜就有可能是非晶的材料了。
6楼2016-08-29 21:42:23
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2016-08-29 21:42:23
那这个薄膜就有可能是非晶的材料了。...

我不太懂这个金属方面的,想问下,退火处理可以让它转变成结晶的吗,谢谢

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加油!
7楼2016-08-30 22:36:47
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by xcjt2020 at 2016-08-29 21:19:28
您好!能不能给我发一点,我是做非晶合金等我,如果是非晶呢!据说已经有了单质非晶

发一点材料给你吗

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加油!
8楼2016-08-30 22:37:15
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xcjt2020

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2016-08-30 22:37:15
发一点材料给你吗
...

不知道您方便不?科学往往都是意外的发现,这次万一就是咱们呢?万一,,,谢谢

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9楼2016-08-31 07:02:59
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qinlilu_276

新虫 (小有名气)

你测试的时候掠射角是多少?一般薄膜做XRD的掠射角都是小角度,2度左右,你说的10-90度是扫描角度范围

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10楼2016-08-31 07:36:02
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