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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？...
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qinlilu_276

新虫 (小有名气)
掠射角过大X射线就会穿透薄膜，打入基体，得到的结果会是基体的信息

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11楼2016-08-31 07:37:44
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by xcjt2020 at 2016-08-31 07:02:59
不知道您方便不？科学往往都是意外的发现，这次万一就是咱们呢？万一，，，谢谢
...

可是我们是金属靶，不是颗粒或粉末，我想给您发但是没办法呀...

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加油！
12楼2016-08-31 13:34:22
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by qinlilu_276 at 2016-08-31 07:37:44
掠射角过大X射线就会穿透薄膜，打入基体，得到的结果会是基体的信息

那应该怎样测呢？还请指教！

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加油！
13楼2016-08-31 13:35:05
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qinlilu_276

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
13楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2016-08-31 13:35:05
那应该怎样测呢？还请指教！
...

就让测试老师做测试的时候采用小角度掠射角呀。

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14楼2016-08-31 16:24:00
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by qinlilu_276 at 2016-08-31 16:24:00
就让测试老师做测试的时候采用小角度掠射角呀。
...

我们都是自己操作，您说的这个小角度是指衍射角度选择小范围的还是其他呢？我是个菜鸟，见笑了

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加油！
15楼2016-08-31 17:57:08
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qinlilu_276

新虫 (小有名气)
也就是 θ 角设小点

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16楼2016-08-31 18:18:50
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agui123456

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
涛涛来奋斗: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-08-31 22:45:00
1）磁控沉积钛，一般情况下必定是晶态；根据膜的厚度达到200nm，沉积时间应该有10min以上了，有足够的时间形成晶态的钛膜，只是晶粒的大小和结晶度好坏的问题；
2）你的xrd结果有没有基体峰？这样厚度的膜用常规的衍射方法肯定可以测到基体峰。没有基体峰，你最好重测一下。如果有基体峰，有没有显示非晶态的那种馒头峰？可能这就是你的钛膜。你可以把测试结果和纯基体的结果对比一下看看，也许就会有发现。
3）测薄膜一般要加个薄膜附件，你要问问管设备的老师看配了没有。
你能否上传一下你测的xrd结果，具体分析一下。
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17楼2016-08-31 20:16:57
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by agui123456 at 2016-08-31 20:16:57
1）磁控沉积钛，一般情况下必定是晶态；根据膜的厚度达到200nm，沉积时间应该有10min以上了，有足够的时间形成晶态的钛膜，只是晶粒的大小和结晶度好坏的问题；
2）你的xrd结果有没有基体峰？这样厚度的膜用常规的 ...

可否留个邮箱，详细探讨一下
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加油！
18楼2016-08-31 22:45:25
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xiongbijun

金虫 (小有名气)
1.是不是纯氩气？如果有氮气就变成氮化钛了
2.磁控溅射沉积的大部分是为了得到化合物吧，看你基体是什么材质，很可能基体的成份会和钛发生反应。
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人之所以痛苦，是因为在追求错误的东西
19楼2016-09-01 11:30:56
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