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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？...
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

[求助] 老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？... 已有4人参与

老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？多次测试结果都一样 @comma

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加油！
1楼 2016-08-29 14:39:38
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agui123456

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
涛涛来奋斗: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-08-31 22:45:00
1）磁控沉积钛，一般情况下必定是晶态；根据膜的厚度达到200nm，沉积时间应该有10min以上了，有足够的时间形成晶态的钛膜，只是晶粒的大小和结晶度好坏的问题；
2）你的xrd结果有没有基体峰？这样厚度的膜用常规的衍射方法肯定可以测到基体峰。没有基体峰，你最好重测一下。如果有基体峰，有没有显示非晶态的那种馒头峰？可能这就是你的钛膜。你可以把测试结果和纯基体的结果对比一下看看，也许就会有发现。
3）测薄膜一般要加个薄膜附件，你要问问管设备的老师看配了没有。
你能否上传一下你测的xrd结果，具体分析一下。
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17楼2016-08-31 20:16:57
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是单峰？还是没有峰？
可能太薄了
试试倾斜小角度再测看看有无衍射峰？
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每天一小步也有新高度
2楼2016-08-29 16:39:47
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by comma at 2016-08-29 16:39:47
是单峰？还是没有峰？
可能太薄了
试试倾斜小角度再测看看有无衍射峰？

10到90度范围内测的，没有峰，多次测量结果一样，钛金属也需要退火处理吗？

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加油！
3楼2016-08-29 20:45:08
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by comma at 2016-08-29 16:39:47
是单峰？还是没有峰？
可能太薄了
试试倾斜小角度再测看看有无衍射峰？

膜厚200nm，同样厚度的铜金属薄膜、银金属薄膜都有峰

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加油！
4楼2016-08-29 20:46:21
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