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涛涛来奋斗木虫 (小有名气)
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[求助]
老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？... 已有4人参与
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老师你好，我用磁控溅射做的纯金属钛薄膜，为什么测不到结晶峰？多次测试结果都一样 @comma 发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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agui123456
铜虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 506
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- 虫号: 583227
- 注册: 2008-07-25
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
涛涛来奋斗: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-08-31 22:45:00
感谢参与，应助指数 +1
涛涛来奋斗: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-08-31 22:45:00
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1）磁控沉积钛，一般情况下必定是晶态；根据膜的厚度达到200nm，沉积时间应该有10min以上了，有足够的时间形成晶态的钛膜，只是晶粒的大小和结晶度好坏的问题； 2）你的xrd结果有没有基体峰？这样厚度的膜用常规的衍射方法肯定可以测到基体峰。没有基体峰，你最好重测一下。如果有基体峰，有没有显示非晶态的那种馒头峰？可能这就是你的钛膜。你可以把测试结果和纯基体的结果对比一下看看，也许就会有发现。 3）测薄膜一般要加个薄膜附件，你要问问管设备的老师看配了没有。 你能否上传一下你测的xrd结果，具体分析一下。 |
17楼2016-08-31 20:16:57