| 查看: 2173 | 回复: 29 | |||
[求助]
磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急！！！ 已有4人参与
|
今天我镀膜按照遗忘步骤一切工作正常，直到我用机械泵抽到14Pa后，关闭旁抽阀V4，打开电磁阀，运行分子泵，开启闸板阀后压力越升越高，（没有异常响声）我一开始我以为是压力计有问题，可是示数一直涨，涨到快100Pa时，分子泵报警声音很小，故障灯亮起来了。最后我用正常步骤关闭了仪器。仔细回想了一下步骤没有任何问题，水冷也是开了的，机械泵工作正常（密闭性没有问题）。这到底是怎么回事呀？？是分子泵的什么问题呀？？望各位大神告知，感激不尽！ |
回复此楼» 猜你喜欢
本人考085602 化学工程 专硕
已经有23人回复
-
求调剂院校信息
已经有4人回复
-
085600材料与化工306
已经有4人回复
-
286求调剂
已经有10人回复
-
328求调剂，英语六级551，有科研经历
已经有9人回复
-
一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂
已经有4人回复
-
286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！
已经有8人回复
-
资源与环境 调剂申请(333分)
已经有5人回复
-
280求调剂
已经有12人回复
-
269专硕求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2016-07-29 07:56:54
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2016-07-29 08:05:43
4楼2016-07-29 08:17:34
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2016-07-29 08:23:06
6楼2016-07-29 08:26:06
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2016-07-29 08:42:45
8楼2016-07-29 08:49:46
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
9楼2016-07-29 08:57:31
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
10楼2016-07-29 14:49:28
40