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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急！！！
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辰小千

新虫 (初入文坛)
沈科仪JGP-560(不带水冷机)60多万。

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21楼2016-07-30 17:14:51
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辰小千

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
20楼: Originally posted by wbcui at 2016-07-30 11:42:27
整个这套设备是买哪里的？
多少钱啊？...

沈科仪JGP-560(不带水冷机)60多万

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22楼2016-07-30 17:17:18
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
22楼: Originally posted by 辰小千 at 2016-07-30 18:17:18
沈科仪JGP-560(不带水冷机)60多万
...

一个带分子泵的进样室？
五个溅射枪？
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23楼2016-07-30 19:46:44
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hbc1234

木虫 (小有名气)
如果不开闸板阀，压力变化不大，建议查一下

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24楼2016-07-30 20:31:38
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hbc1234

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
抱歉上一条没写完就发出去了。
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25楼2016-07-30 20:34:00
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hbc1234

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

呃……实在不好意思……
我觉得如果不开闸板阀，压力变化不大，那么首先怀疑分子泵反转了。
建议查一下分子泵说明书，如果是三相供电的话，很有可能是某两根火线被反接了。可以问问实验室其他人员，是不是最近改过总电路
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26楼2016-07-30 20:37:30
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ijianhui

木虫 (正式写手)
给你个建议，开着机械泵抽分子泵，打开闸板阀和电磁阀，看看气压可以抽到多少再说

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27楼2016-07-31 16:18:02
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ijianhui

木虫 (正式写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by 辰小千 at 2016-07-30 17:17:18
沈科仪JGP-560(不带水冷机)60多万
...

科仪的东西就是贵

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28楼2016-07-31 16:19:01
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张杨翠

铁虫 (正式写手)
那就是漏气了吧

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29楼2016-07-31 16:41:57
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起名字真难诶

新虫 (小有名气)
不知道你们的设备是哪个厂生产的，我们的是机械泵的抽腔体的阀因为是和分子泵的出气阀连着的，这个也要关闭，防止气体倒灌进分子泵

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30楼2016-07-31 21:10:29
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