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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急！！！
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
辰小千: 金币+2, ★有帮助 2016-07-30 09:08:57
或者，电磁阀没打开
这样，相当于你关闭了所有阀门，实际上是自然密封状态，存在缓慢漏气，才显示真空逐渐降低的现象。

你多试几次开关电磁阀
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11楼2016-07-29 14:51:00
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by wbcui at 2016-07-29 14:49:28
有可能分子泵没运转
或者叶片出了问题吧？...

分子泵开启是有声音的，你开启分子泵是有没有听到
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12楼2016-07-29 15:00:53
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
12楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-07-29 16:00:53
分子泵开启是有声音的，你开启分子泵是有没有听到...

此楼是做什么材料的啊？
读硕士，还是博士？
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13楼2016-07-29 15:16:23
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by wbcui at 2016-07-29 15:16:23
此楼是做什么材料的啊？
读硕士，还是博士？...

PLD，氧化物陶瓷，小硕
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14楼2016-07-29 15:19:44
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
14楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-07-29 16:19:44
PLD，氧化物陶瓷，小硕...

哦，氧化物有前途，而且还在用PLD这么强大的武器
好好干！
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15楼2016-07-29 15:30:30
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
辰小千: 金币+2, ★有帮助 2016-07-30 09:09:23
漏气是肯定的，估计是哪个阀坏掉了，可以试一下漏率，机械泵抽到规定气压，关掉阀4，看气压上升的快否

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
16楼2016-07-30 07:31:47
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辰小千

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by wbcui at 2016-07-29 14:49:28
有可能分子泵没运转
或者叶片出了问题吧？...

分子泵有示数，而且可以达到稳定状态36000转，600Hz
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相信自己
17楼2016-07-30 08:45:00
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辰小千

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-07-29 15:00:53
分子泵开启是有声音的，你开启分子泵是有没有听到...

我们的分子泵是中科科仪的复合分子泵FF-160/620C,声音一直很小的。和以往一样没有异常响声
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相信自己
18楼2016-07-30 08:49:49
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辰小千

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
16楼: Originally posted by yanglei839 at 2016-07-30 07:31:47
漏气是肯定的，估计是哪个阀坏掉了，可以试一下漏率，机械泵抽到规定气压，关掉阀4，看气压上升的快否

在开闸板阀之前压力没有明显上升，开完闸板阀之后就一直很慢的上升。
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相信自己
19楼2016-07-30 09:02:59
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
18楼: Originally posted by 辰小千 at 2016-07-30 09:49:49
我们的分子泵是中科科仪的复合分子泵FF-160/620C,声音一直很小的。和以往一样没有异常响声...

整个这套设备是买哪里的？
多少钱啊？
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20楼2016-07-30 11:42:27
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