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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急！！！
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辰小千

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急！！！ 已有4人参与

今天我镀膜按照遗忘步骤一切工作正常，直到我用机械泵抽到14Pa后，关闭旁抽阀V4，打开电磁阀，运行分子泵，开启闸板阀后压力越升越高，（没有异常响声）我一开始我以为是压力计有问题，可是示数一直涨，涨到快100Pa时，分子泵报警声音很小，故障灯亮起来了。最后我用正常步骤关闭了仪器。仔细回想了一下步骤没有任何问题，水冷也是开了的，机械泵工作正常（密闭性没有问题）。这到底是怎么回事呀？？是分子泵的什么问题呀？？望各位大神告知，感激不尽！
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相信自己
1楼 2016-07-28 20:38:47
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
辰小千: 金币+2, ★有帮助 2016-07-30 09:09:23
漏气是肯定的，估计是哪个阀坏掉了，可以试一下漏率，机械泵抽到规定气压，关掉阀4，看气压上升的快否

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
16楼2016-07-30 07:31:47
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辰小千

新虫 (初入文坛)
自己頂一下！！好著急！！
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相信自己
2楼2016-07-29 07:56:54
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
机械泵的阀门有关起来么？
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3楼2016-07-29 08:05:43
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辰小千

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-07-29 08:05:43
机械泵的阀门有关起来么？

关了的就是旁抽阀V4
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相信自己
4楼2016-07-29 08:17:34
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