| 查看: 2160 | 回复: 29 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急！！！ 已有4人参与
|
||
今天我镀膜按照遗忘步骤一切工作正常，直到我用机械泵抽到14Pa后，关闭旁抽阀V4，打开电磁阀，运行分子泵，开启闸板阀后压力越升越高，（没有异常响声）我一开始我以为是压力计有问题，可是示数一直涨，涨到快100Pa时，分子泵报警声音很小，故障灯亮起来了。最后我用正常步骤关闭了仪器。仔细回想了一下步骤没有任何问题，水冷也是开了的，机械泵工作正常（密闭性没有问题）。这到底是怎么回事呀？？是分子泵的什么问题呀？？望各位大神告知，感激不尽！ |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
265求调剂
已经有4人回复
-
085700资源与环境308求调剂
已经有6人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有12人回复
-
286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！
已经有3人回复
-
329求调剂
已经有5人回复
-
申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复
已经有4人回复
-
材料学硕318求调剂
已经有5人回复
-
一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂
已经有6人回复
-
081700化工学硕调剂
已经有3人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2016-07-29 08:05:43
2楼2016-07-29 07:56:54
4楼2016-07-29 08:17:34
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2016-07-29 08:23:06
