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磁控濺射分子泵工作压力越抽越高!!!好着急!!! 已有4人参与
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今天我镀膜按照遗忘步骤一切工作正常,直到我用机械泵抽到14Pa后,关闭旁抽阀V4,打开电磁阀,运行分子泵,开启闸板阀后压力越升越高,(没有异常响声)我一开始我以为是压力计有问题,可是示数一直涨,涨到快100Pa时,分子泵报警声音很小,故障灯亮起来了。最后我用正常步骤关闭了仪器。仔细回想了一下步骤没有任何问题,水冷也是开了的,机械泵工作正常(密闭性没有问题)。这到底是怎么回事呀??是分子泵的什么问题呀??望各位大神告知,感激不尽!![]() |
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