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磁控溅射仪器真空度求助 已有5人参与
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| 磁控溅射镀膜仪更换真空计之后，仪器抽真空速度显著下降，以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题，求大神解救 |
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