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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射仪器真空度求助
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df1990

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射仪器真空度求助 已有5人参与

磁控溅射镀膜仪更换真空计之后，仪器抽真空速度显著下降，以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题，求大神解救
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生命是一场无限的蜕变
1楼 2016-07-22 15:06:48
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
df1990: 金币+2 2016-07-23 15:35:41
建议重新安装一次，可能是铜法兰歪了或者是其他什么的，就是气密性没有之前那么好了
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6楼2016-07-22 16:44:32
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
你的溅射仪在哪里买的？
多少钱？
是真空机接口处漏气吧？
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2楼2016-07-22 15:22:57
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
df1990: 金币+2 2016-07-23 15:35:24
那么真空室有无可能受到污染导致抽真空速率下降呢？
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3楼2016-07-22 15:25:22
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普通回帖

df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2016-07-22 15:22:57
你的溅射仪在哪里买的？
多少钱？
是真空机接口处漏气吧？

沈科仪的仪器，初步检查了一遍没有查到问题
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生命是一场无限的蜕变
4楼2016-07-22 15:44:40
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2016-07-22 15:25:22
那么真空室有无可能受到污染导致抽真空速率下降呢？

谢谢！原来怀疑是，今天清洗了下发现仍然没有变化，打开分子泵之后分子泵运行正常但就是高真空抽速慢的很，
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生命是一场无限的蜕变
5楼2016-07-22 15:46:36
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-07-22 16:44:32
建议重新安装一次，可能是铜法兰歪了或者是其他什么的，就是气密性没有之前那么好了

谢谢，真空计维修之前抽真空是正常的，维修期间也未对真空仪器做任何改动，安装好真空计之后突然出现此情况，不知何解？
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生命是一场无限的蜕变
7楼2016-07-22 17:52:09
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Friend007

银虫 (知名作家)
楼主要到达的真空度是多少

发自小木虫Android客户端
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8楼2016-07-22 18:51:59
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Friend007 at 2016-07-22 18:51:59
楼主要到达的真空度是多少

你好，一般是10-3和10-4数量级
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生命是一场无限的蜕变
9楼2016-07-22 19:05:43
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hp3600

木虫 (职业作家)
2-3小时 也感觉很长啊 什么 pump？

发自小木虫IOS客户端
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10楼2016-07-22 23:17:52
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