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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射仪器真空度求助
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 17:52:09
谢谢，真空计维修之前抽真空是正常的，维修期间也未对真空仪器做任何改动，安装好真空计之后突然出现此情况，不知何解？...

真空计与真空腔体间是通过铜法兰密封的，现在你设备的问题就可能是真空计与腔体间的密封度不好，所以建议你重新装一下
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21楼2016-07-25 08:40:11
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by 王龙权 at 2016-07-23 20:51:29
是不是真空室封盖密封不好啊，涂真空脂，或者查查密封胶圈是否老化啊，以前也遇到类似问题，胶圈老化。

也可能是，橡胶圈用了快四年了
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生命是一场无限的蜕变
22楼2016-07-25 13:23:18
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by xwz8199 at 2016-07-23 16:58:15
原来用时就太长啊...

仪器用了8年，时间长了慢慢退化了
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生命是一场无限的蜕变
23楼2016-07-25 13:25:05
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-07-25 08:40:11
真空计与真空腔体间是通过铜法兰密封的，现在你设备的问题就可能是真空计与腔体间的密封度不好，所以建议你重新装一下...

恩，好的，谢谢！重装下
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生命是一场无限的蜕变
24楼2016-07-25 13:26:55
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reggiehu

木虫 (正式写手)
我以前用沈科仪的要抽一整天。。。。

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25楼2016-07-25 13:39:13
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xiongbijun

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
df1990: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-07-26 20:46:05
1.建议改用硅胶密封圈，一般漏气都是橡胶圈老化，有龟裂造成的
2.还有就是有可能真空脂含水率高；
3.空气潮湿，更换真空计的时候，没有注意到内壁附了很多水蒸汽；
4.一边加热一边抽，水汽出得快点。
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人之所以痛苦，是因为在追求错误的东西
26楼2016-07-25 15:49:23
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王龙权

木虫 (著名写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-25 13:23:18
也可能是，橡胶圈用了快四年了...

可以考虑换新的了。

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27楼2016-07-25 21:53:46
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xwz8199

木虫 (小有名气)
引用回帖:
23楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-25 13:25:05
仪器用了8年，时间长了慢慢退化了...

那差不多该换了，另外提醒你，要是辉光很散的话，那么也该换靶啦，没磁性啦
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28楼2016-07-29 09:32:06
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潇流风

木虫 (正式写手)
我这边10-5也就才2个小时

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29楼2016-07-29 09:39:11
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
28楼: Originally posted by xwz8199 at 2016-07-29 09:32:06
那差不多该换了，另外提醒你，要是辉光很散的话，那么也该换靶啦，没磁性啦...

磁控靶头是刚换的，半年磁性应该还好的
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生命是一场无限的蜕变
30楼2016-07-29 11:40:48
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