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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射仪器真空度求助
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
29楼: Originally posted by 潇流风 at 2016-07-29 09:39:11
我这边10-5也就才2个小时

有可能是时间长了
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生命是一场无限的蜕变
31楼2016-07-29 11:41:22
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潇流风

木虫 (正式写手)
要么哪里漏气了，密封圈什么的

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32楼2016-07-29 11:43:19
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匿名

本帖仅楼主可见
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33楼2016-08-05 16:03:26
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lijun741029

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1、首先确认你所说的“更换了真空计”，确认是连接在真空管路上的真空规吗？
2、如果是，考虑是否是规管装配过程中真空腔室暴露大气太久，腔室内部吸附大量水分子，可以升温烘烤3小时看后面情况。
3、抽速明显降低的情况下，但可以达到之前真空度，建议对腔室内所有隔层挡板取下清洁恢复原貌，丙酮擦拭洁净。
4、但凡实验结束，务必取样后使腔室保持中真空，再按照规程关机。
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材料表面处理、超硬膜制备、光功能陶瓷、等离子纳米球化、压力注浆、注凝成型、英文水平一般，深耕材料领域。
34楼2016-09-24 02:20:20
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xqzhang56

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

换个真空计试一下吧，有可能是真空计使用时间长了发热造成微漏，或者放气增大。
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35楼2016-09-24 23:10:31
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BMaxFeynman

金虫 (小有名气)

金虫
给腔室加热，然后再抽！
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36楼2016-09-25 14:36:05
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sam799824810

银虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by hyha at 2016-07-23 19:06:05
薄膜材料和薄膜技术毕业好找工作不？

加油学习，这行业还可以的

发自小木虫Android客户端
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37楼2016-09-26 10:56:16
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
36楼: Originally posted by BMaxFeynman at 2016-09-25 14:36:05
给腔室加热，然后再抽！

多谢多谢，原因已经找到
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生命是一场无限的蜕变
38楼2016-09-26 13:43:12
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zz26

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
38楼: Originally posted by df1990 at 2016-09-26 13:43:12
多谢多谢，原因已经找到...

我也碰到了类似的问题，以前抽到3.8x10^-3只需1小时，现在要3小时。真空室也清洁过，分子泵运转正常就是抽的慢，请问您是怎么解决的

发自小木虫IOS客户端
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39楼2017-07-03 15:40:00
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
39楼: Originally posted by zz26 at 2017-07-03 15:40:00
我也碰到了类似的问题，以前抽到3.8x10^-3只需1小时，现在要3小时。真空室也清洁过，分子泵运转正常就是抽的慢，请问您是怎么解决的
...

我们查找是真空计导线传输问题，导致示数是以前的两倍。你可以用离子源轰击时检验一下电流大小（跟以前正常时做对比）
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生命是一场无限的蜕变
40楼2017-07-04 14:02:43
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