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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射仪器真空度求助
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 19:05:43
你好，一般是10-3和10-4数量级...

建议楼主看一下设备的保压情况。判断一下是漏气还是放气。

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11楼2016-07-23 06:59:50
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by hp3600 at 2016-07-22 23:17:52
2-3小时 也感觉很长啊 什么 pump？

分子泵，使用8年了有仪器老化的原因，橡胶圈也有可能老化。现在感觉就是换了个新的真空计之后就抽速显著降低了
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生命是一场无限的蜕变
12楼2016-07-23 08:47:37
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
检查一下密封件，更换泵油试一下；真空度上不去，只有两种可能一是漏气，而是泵的抽力不行。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
13楼2016-07-23 15:44:23
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
有没有可能是真空计本身的问题，如显示不准… 建议镀金属Al测测真实的真空度

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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
14楼2016-07-23 16:31:14
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xwz8199

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 19:05:43
你好，一般是10-3和10-4数量级...

原来用时就太长啊
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15楼2016-07-23 16:58:15
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 16:44:40
沈科仪的仪器，初步检查了一遍没有查到问题...

抹点真空脂
或者重新装一下
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16楼2016-07-23 17:44:56
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hyha

新虫 (正式写手)
薄膜材料和薄膜技术毕业好找工作不？

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17楼2016-07-23 19:06:05
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王龙权

木虫 (著名写手)
是不是真空室封盖密封不好啊，涂真空脂，或者查查密封胶圈是否老化啊，以前也遇到类似问题，胶圈老化。

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18楼2016-07-23 20:51:29
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billie113
祝福

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19楼2016-07-23 23:07:54
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by df1990 at 2016-07-22 19:05:43
你好，一般是10-3和10-4数量级...

有可能最近天太潮了

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20楼2016-07-24 08:06:38
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