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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射仪器真空度求助
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df1990

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射仪器真空度求助 已有5人参与

磁控溅射镀膜仪更换真空计之后，仪器抽真空速度显著下降，以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题，求大神解救
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生命是一场无限的蜕变
1楼 2016-07-22 15:06:48
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Friend007 at 2016-07-22 18:51:59
楼主要到达的真空度是多少

你好，一般是10-3和10-4数量级
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生命是一场无限的蜕变
9楼2016-07-22 19:05:43
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
你的溅射仪在哪里买的？
多少钱？
是真空机接口处漏气吧？
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2楼2016-07-22 15:22:57
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
df1990: 金币+2 2016-07-23 15:35:24
那么真空室有无可能受到污染导致抽真空速率下降呢？
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2016-07-22 15:25:22
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df1990

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2016-07-22 15:22:57
你的溅射仪在哪里买的？
多少钱？
是真空机接口处漏气吧？

沈科仪的仪器，初步检查了一遍没有查到问题
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生命是一场无限的蜕变
4楼2016-07-22 15:44:40
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