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df1990

木虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 3786.8
帖子: 262
在线: 269.6小时
虫号: 2037559
注册: 2012-09-29
性别: GG
专业: 海洋工程

[求助] 磁控溅射仪器真空度求助已有5人参与

磁控溅射镀膜仪更换真空计之后，仪器抽真空速度显著下降，以前只需要2-3小时现在要8个钟头。仪器检漏未查到问题，求大神解救

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生命是一场无限的蜕变

1楼 2016-07-22 15:06:48

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lijun741029

铁虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 249.1
红花: 1
帖子: 31
在线: 74.1小时
虫号: 168134
注册: 2006-01-15
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功

【答案】应助回帖

1、首先确认你所说的“更换了真空计”，确认是连接在真空管路上的真空规吗？
2、如果是，考虑是否是规管装配过程中真空腔室暴露大气太久，腔室内部吸附大量水分子，可以升温烘烤3小时看后面情况。
3、抽速明显降低的情况下，但可以达到之前真空度，建议对腔室内所有隔层挡板取下清洁恢复原貌，丙酮擦拭洁净。
4、但凡实验结束，务必取样后使腔室保持中真空，再按照规程关机。