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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 要在硅片上制作1μm左右的结构，大家有什么好办法吗？
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corredo

木虫 (小有名气)

[交流] 要在硅片上制作1μm左右的结构，大家有什么好办法吗？ 已有8人参与

要在硅片上做结构，大概1μm*10μm的方孔，或者1μm*5μm也行。
之前做过5μm*10μm的，用的是光刻胶显影之后DRIE工艺刻蚀。
现在想做更小的结构。但是听师兄说DRIE做不了1μm的方孔，尺寸太小。
不知道大家有什么好办法啊？
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1楼 2016-07-21 20:25:38
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
要看你的刻蚀深度，DRIE一般不是问题，麻烦的是光刻。
1um宽的，最好是用stepper，或者激光直写。
你自己有设备吗？
你可以联系我，我帮你看看。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2016-07-22 11:57:23
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corredo

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by xxhvcj at 2016-07-24 09:46:32
这是要造CPU吗

不是啊，是应该算是microrobot

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10楼2016-07-25 02:39:39
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普通回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
要上电子束光刻
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2楼2016-07-21 20:32:37
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hsdwlxhx

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
纳米所加工平台号称可以做，用icp深硅刻蚀，侧壁非常抖直

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BringLightonChip
4楼2016-07-23 20:02:09
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
刻蚀深度是多少？

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学海无涯，回头是岸。
5楼2016-07-23 23:45:38
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corredo

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by czcdxmc at 2016-07-23 23:45:38
刻蚀深度是多少？

7.5微米，用的SOI的wafer

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6楼2016-07-24 08:22:04
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生
引用回帖:
6楼: Originally posted by corredo at 2016-07-24 08:22:04
7.5微米，用的SOI的wafer
...

7.5um小case。

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seuljh
学海无涯，回头是岸。
7楼2016-07-24 09:19:50
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xxhvcj

铁虫 (小有名气)
这是要造CPU吗

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8楼2016-07-24 09:46:32
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corredo

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by hsdwlxhx at 2016-07-23 20:02:09
纳米所加工平台号称可以做，用icp深硅刻蚀，侧壁非常抖直

我用的就是ICP。

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9楼2016-07-25 02:39:11
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