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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 要在硅片上制作1μm左右的结构，大家有什么好办法吗？
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seuljh

新虫 (初入文坛)
★
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送红花一朵
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7楼: Originally posted by czcdxmc at 2016-07-24 09:19:50
7.5um小case。
...

如果刻蚀深度到30微米以上有问题吗？谢谢！

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11楼2018-07-11 08:41:27
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2016-07-22 11:57:23
要看你的刻蚀深度，DRIE一般不是问题，麻烦的是光刻。
1um宽的，最好是用stepper，或者激光直写。
你自己有设备吗？
你可以联系我，我帮你看看。

stepper多少钱？

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学海无涯，回头是岸。
12楼2018-07-11 13:16:41
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leeyu66

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
您好请问你们的孔是通孔吗？
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13楼2019-11-26 09:20:12
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众志启成

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
联系启成微纳，都可以加工的

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14楼2019-11-26 11:11:22
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