| 查看: 2497 | 回复: 13 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
corredo木虫 (小有名气)
|
[交流]
要在硅片上制作1μm左右的结构，大家有什么好办法吗？ 已有8人参与
|
|||
|
要在硅片上做结构，大概1μm*10μm的方孔，或者1μm*5μm也行。 之前做过5μm*10μm的，用的是光刻胶显影之后DRIE工艺刻蚀。 现在想做更小的结构。但是听师兄说DRIE做不了1μm的方孔，尺寸太小。 不知道大家有什么好办法啊？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有287人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
corredo
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5641.4
- 红花: 1
- 帖子: 60
- 在线: 22.9小时
- 虫号: 2447383
- 注册: 2013-05-04
- 性别: GG
- 专业: 细胞、亚细胞结构与功能
9楼2016-07-25 02:39:11
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2016-07-22 11:57:23
hsdwlxhx
金虫 (正式写手)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 2986.8
- 散金: 204
- 红花: 6
- 帖子: 430
- 在线: 318.5小时
- 虫号: 1537165
- 注册: 2011-12-14
- 性别: GG
- 专业: 配位化学
4楼2016-07-23 20:02:09
czcdxmc
木虫 (正式写手)
MEMS小学生
- 应助: 13 (小学生)
- 金币: 5212.9
- 散金: 70
- 红花: 8
- 帖子: 845
- 在线: 101.7小时
- 虫号: 2088420
- 注册: 2012-10-26
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
5楼2016-07-23 23:45:38
