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corredo木虫 (小有名气)
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[交流]
要在硅片上制作1μm左右的结构，大家有什么好办法吗？ 已有8人参与
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要在硅片上做结构，大概1μm*10μm的方孔，或者1μm*5μm也行。 之前做过5μm*10μm的，用的是光刻胶显影之后DRIE工艺刻蚀。 现在想做更小的结构。但是听师兄说DRIE做不了1μm的方孔，尺寸太小。 不知道大家有什么好办法啊？ |
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yswyx 
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3楼2016-07-22 11:57:23
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4楼2016-07-23 20:02:09
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5楼2016-07-23 23:45:38
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6楼2016-07-24 08:22:04