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xujiayu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先湿度一定要控制好,湿度大的话粘附性一点也不好,我们以前也遇到过这个问题。你可以买个除湿机,对着通风橱局部除湿,我们做SU8湿度基本都控制在40%左右。涂胶前最好涂个增粘剂,还是有效果的。
11楼2016-06-15 10:51:22
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kangg

银虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 小小小徐 at 2016-06-15 10:38:36
是那种像水垢一样的,用针头拨动就像一小块一小块的胶粒的东西?
...

好像就是你说的这种
12楼2016-06-15 11:46:41
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kangg

银虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 美图半导体 at 2016-06-15 09:36:10
对于SU8光刻胶,烘烤温度的时候要严格要求,你是如何烘烤的?是阶梯性烘烤吗?

就是依manual所说,soft bake是两个温度阶梯性,post exposure一步,develop以后hardbake一步。
13楼2016-06-15 11:49:40
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小小小徐

木虫 (正式写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by kangg at 2016-06-15 11:46:41
好像就是你说的这种...

类似的在显影不彻底,或者显影后没清洗干净的情况下见过,后期再泡就不好去掉了。不知和您情况一样不。是不是曝光过度了?

发自小木虫IOS客户端
14楼2016-06-15 11:57:49
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
系统浏览了下,包括虫友的回复;湿度问题是要解决的,但是还有一点如果你们是用的2000.x的系列胶的话应该是很薄的才对,对于这种几百纳米的胶来说阶梯式烘烤相对来说米有那么重要,当然阶梯式烘烤肯定也没有错;这种胶的薄厚对于工艺的要求严谨性差别是非常大的;针对你说的问题,第一个白带的问题,个人认为是中间溶剂过度方面造成的,仔细看下每一步里面是否有不相容的情况出现,或者每步的溶剂(显影液,清洗液等)中去水的纯度,粘附性问题,SU8理论上粘附性很好的,这个HMDS一般都不用的,因为机理是不同的;脱胶的问题因为我看了下你的图片,就是剩下来的线条也很粗糙,不光洁,综合分析来看很有可能是中烘或者曝光不足导致的;建议增加中烘的温度或者时间或者曝光能量来调整;希望有用哈;大中午有点困,想到哪打到哪,你自己慢慢看吧 见谅了
15楼2016-06-15 12:46:24
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babyoflion

金虫 (著名写手)

当然显影的时间也要控制下,不能太过度显影了,如果线条比较小(10u以下)的时候!
16楼2016-06-15 12:48:27
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kangg

银虫 (小有名气)

引用回帖:
15楼: Originally posted by babyoflion at 2016-06-15 12:46:24
系统浏览了下,包括虫友的回复;湿度问题是要解决的,但是还有一点如果你们是用的2000.x的系列胶的话应该是很薄的才对,对于这种几百纳米的胶来说阶梯式烘烤相对来说米有那么重要,当然阶梯式烘烤肯定也没有错;这种 ...

谢谢!我们用的不是2000.5的我的意思是几个SU8-2000系列的胶,用的最多的是2025。白带是出现在干的刚post exposure bake之后倒进去显影液的时候,这时候还没有任何其他溶剂引入,这个东西直接就溶解不掉了,用什么都溶不掉。剩下的线条看起来粗糙可能是因为我的mask是胶片打印的,这个线是15um宽,对于激光照排机来讲打印出来的边缘就是粗糙的,在体视镜的斜光源照射下拍摄就尤其明显。我们拍截面调试过曝光量,曝光能量应该是够的。
17楼2016-06-15 14:39:51
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kangg

银虫 (小有名气)

引用回帖:
14楼: Originally posted by 小小小徐 at 2016-06-15 11:57:49
类似的在显影不彻底,或者显影后没清洗干净的情况下见过,后期再泡就不好去掉了。不知和您情况一样不。是不是曝光过度了?
...

白带是出现在干的刚post exposure bake之后倒进去显影液的时候,这时候还没有任何其他溶剂引入,这个东西直接就溶解不掉了,用developer泡很久也不掉,常用溶剂都溶不掉。
18楼2016-06-15 14:41:52
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小小小徐

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

图看的不太清,也不敢瞎说。要是能刮掉,这么看有点像水垢似的,我之前在硅模具上抹过洗洁精,干了也有点像这样的。要是水性的东西,您试试水洗能把它冲掉不,然后还是先解决湿度和胶的干燥问题试试。

发自小木虫IOS客户端
19楼2016-06-15 15:06:38
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ffffjjjj

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1.湿度的问题,建议买一个干燥柜,存放洗净烘干的硅片。
2.硅片的清洗,使用80度左右的piraha溶液浸泡1小时,而不是用浓硫酸浸泡;
3.烘烤:很薄的胶不需要阶梯烘烤,厚胶才需要;
4.显影:问题来了,建议使用新的显影液进行显影,显影液不要重复使用!显影液不要重复使用!显影液不要重复使用!重要的问题说三遍。
20楼2016-06-15 15:11:25
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