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kangg

银虫 (小有名气)

[求助] 有用过SU8负胶的吗?请教点操作上的问题。 已有7人参与

有用过SU8负胶的吗?请教点操作上的问题。

以前其实自己在cleanroom里也做过不少光刻,最近在实验室搭了一套简易的做SU8负胶
的平台,包括近似平行光LED紫外光源、掩膜夹具、匀胶机、加热平台、通风橱、黄光
操作区等,但是操作中同学反映结果不稳定,主要有两个问题,我自己也不是特别确定
是什么问题,来本版请教一下,牛人请给指点,不胜感谢!
  
第一个问题,有时候develop时刻蚀不完全,这种情况对双层曝光的上层尤其常见,留
下白色的东西长期去不掉,developer里面多泡半小时都去不掉,这个可以出现在完全
没feature的部位,如图,请问这个是什么东西啊?可能什么原因产生的?有什么办法
避免?
  
第二个问题,有时候feature粘不牢,会掉下来,如图,这个有什么可能的原因?有什
么诀窍来改进?
  
我再加些背景信息。我们用的SU8是Microchem的套装,包括2000.x的几种胶,
developer,稀释剂,全部常温避光保存,定期分装出小份使用。室内湿度较高,有时
候达到68%,我们对这个比较疑虑,听说对操作不利,但是也不清楚究竟会产生那些后
果。硅片为大陆买的普通抛光8寸硅片,100晶向,切成小片用,使用前于浓硫酸内浸泡
数小时以上,再用纯水洗净甩干,150度烘干后使用。涂胶前不使用HMDS之类的
promoter处理,因为SU8的说明书就没说让用。前烘后烘等温度与时间依官方manual,
develop时候先用用过的developer,再用新的developer冲净。

有用过SU8负胶的吗?请教点操作上的问题。
问题1


有用过SU8负胶的吗?请教点操作上的问题。-1
问题2


有用过SU8负胶的吗?请教点操作上的问题。-2
问题2
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美图半导体

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【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
对于SU8光刻胶,烘烤温度的时候要严格要求,你是如何烘烤的?是阶梯性烘烤吗?
9楼2016-06-15 09:36:10
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小小小徐

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
问题可能出现在好多地方…只能排除法了。我们实验室以前也有,图案一吹或者一碰就掉,后来发现和硅片泡食人鱼洗液时间有很大关系,泡完丙酮,醇,水洗然后烘干立即用,放久了也不行。
然后就是环境湿度大,要注意胶的密闭性啊

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-06-14 22:37:06
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小小小徐

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

而且好像问题不少出在硅片和胶的黏附性上?

发自小木虫IOS客户端
3楼2016-06-14 22:43:42
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kangg

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 小小小徐 at 2016-06-14 22:37:06
问题可能出现在好多地方…只能排除法了。我们实验室以前也有,图案一吹或者一碰就掉,后来发现和硅片泡食人鱼洗液时间有很大关系,泡完丙酮,醇,水洗然后烘干立即用,放久了也不行。
然后就是环境湿度大,要注意胶 ...

非常感谢回复!你们对比过食人鱼洗液泡后再用丙酮异丙醇洗到底有没有区别吗,我感觉丙酮异丙醇没什么帮助啊。另外你们对比过做plasma或者ozone处理后有无帮助吗?好像我们同学感觉主要还是烘完时间放久了不行,其他什么都不怎么管用。

环境湿度到底造成什么具体问题呢?我们现在在着手解决湿度问题
4楼2016-06-14 22:48:04
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