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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有用过SU8负胶的吗？请教点操作上的问题。
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victoryn

新虫 (初入文坛)
楼主说的光刻胶脱落主因有两个，一个是衬底亲水性，可以通过热板或烘箱解决：另外一个是衬底表面有杂质，可以通过超声波清洗机或配合清洗液解决。

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31楼2017-03-18 00:23:25
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victoryn

新虫 (初入文坛)
楼主说的光刻胶脱落主因有两个，一个是衬底亲水性，可以通过热板或烘箱解决：另外一个是衬底表面有杂质，可以通过超声波清洗机或配合清洗液解决。—————————————
西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立，公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来，已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布机（匀胶机）、显影机和热板、HMDS预处理系统、氮气烘干机、晶圆划片机（金刚刀/人造钻石刀）、晶圆贴膜机等，可按客户工艺要求进行客制化订做。
http://www.semiway.com.cn

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32楼2017-03-18 00:24:29
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ever1988

银虫 (小有名气)
楼主你好，我最近也开始做SU8光刻胶，也遇到你说的第一个问题，显影之后有白色的点点和膜状物，怎么都清理不掉，请教下你后来解决这个问题了吗
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33楼2017-09-29 07:30:15
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Hyactus

新虫 (初入文坛)
你好，方便告知一下你的光刻胶购买的渠道和价格吗？

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34楼2017-10-27 00:07:28
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