| 查看: 1050 | 回复: 11 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
溅射WO3时的问题
|
||
| 我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
职称评审没过，求安慰
已经有41人回复
-
回收溶剂求助
已经有7人回复
-
硝基苯如何除去
已经有3人回复
-
A期刊撤稿
已经有4人回复
-
垃圾破二本职称评审标准
已经有17人回复
-
投稿Elsevier的Neoplasia杂志，到最后选publishing options时页面空白，不能完成投稿
已经有22人回复
-
EST投稿状态问题
已经有7人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有4人回复
-
求助文献
已经有3人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有8人回复
12楼2016-06-14 20:01:05
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.7小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2016-06-03 15:31:32
璞伟
木虫 (正式写手)
打酱油
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3476.4
- 散金: 2109
- 红花: 4
- 帖子: 352
- 在线: 70.7小时
- 虫号: 1790366
- 注册: 2012-05-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-06-03 15:32:20
4楼2016-06-03 15:43:53