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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办?已有11人参与

做了几次磁控溅射黄金电极,功率用的300w,但是其中有两次靶材都熔了个洞,是什么原因造成的?
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
19楼: Originally posted by 北京众诚新材 at 2016-11-29 17:55:51
功率有点大,靶材融化就是功率大造成的

用的300w,不算大

发自小木虫Android客户端
20楼2016-11-29 18:05:36
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
检查下靶的冷却水是不是还有,还可以更换下新的靶材试试

发自小木虫Android客户端
2楼2016-05-26 07:22:54
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2008100266

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是冷却出了问题,可以试试在靶材后面垫两层锡纸,以增加实际接触面积。

发自小木虫Android客户端
3楼2016-05-26 07:38:39
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 2008100266 at 2016-05-26 07:38:39
应该是冷却出了问题,可以试试在靶材后面垫两层锡纸,以增加实际接触面积。

如果金靶熔了会不会和锡纸反应,或者粘在一起?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2016-05-26 10:36:17
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