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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办?已有11人参与

做了几次磁控溅射黄金电极,功率用的300w,但是其中有两次靶材都熔了个洞,是什么原因造成的?
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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3楼: Originally posted by 2008100266 at 2016-05-26 07:38:39
应该是冷却出了问题,可以试试在靶材后面垫两层锡纸,以增加实际接触面积。

如果金靶熔了会不会和锡纸反应,或者粘在一起?

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4楼2016-05-26 10:36:17
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-05-26 07:22:54
检查下靶的冷却水是不是还有,还可以更换下新的靶材试试

做其他的靶材没什么问题,就只有金出现了这个问题

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6楼2016-05-26 10:37:34
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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5楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-26 10:36:51
估计是靶材局部部位剧烈放电的电弧所致。

那会是什么原因导致的电弧放电?而且在镀膜过程中,看到等离子体打到靶材上时没发现异常。

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7楼2016-05-26 10:39:26
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强哥哥哥

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8楼: Originally posted by aaron5235 at 2016-05-26 22:59:25
没有水冷?功率太大?

那为什么熔的只是某一部分,而不是全部?

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9楼2016-05-27 09:10:41
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强哥哥哥

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10楼: Originally posted by Joyin1 at 2016-05-27 10:06:57
功率这么大

之前有人做过,说这个功率做的好,你一般用多大功率呢?

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11楼2016-05-27 10:53:22
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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12楼: Originally posted by Joyin1 at 2016-05-27 11:33:00
5到8w每平方厘米...

是不是所有金属靶材都按照这个来算的?

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13楼2016-05-27 12:30:24
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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17楼: Originally posted by 下一站,守候 at 2016-06-16 15:15:21
楼主用什么基底啊

钛靶基底

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18楼2016-06-17 23:48:33
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强哥哥哥

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19楼: Originally posted by 北京众诚新材 at 2016-11-29 17:55:51
功率有点大,靶材融化就是功率大造成的

用的300w,不算大

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20楼2016-11-29 18:05:36
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

功率太大了,另外查看下冷却水系统

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22楼2017-10-04 11:34:14
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