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强哥哥哥

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[交流] 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办？已有11人参与

做了几次磁控溅射黄金电极，功率用的300w，但是其中有两次靶材都熔了个洞，是什么原因造成的？

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金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有228人回复

1楼2016-05-25 23:10:02

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Friend007

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检查下靶的冷却水是不是还有，还可以更换下新的靶材试试

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2楼2016-05-26 07:22:54

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2008100266

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应该是冷却出了问题，可以试试在靶材后面垫两层锡纸，以增加实际接触面积。

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3楼2016-05-26 07:38:39

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强哥哥哥

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3楼: Originally posted by 2008100266 at 2016-05-26 07:38:39
应该是冷却出了问题，可以试试在靶材后面垫两层锡纸，以增加实际接触面积。

如果金靶熔了会不会和锡纸反应，或者粘在一起？

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4楼2016-05-26 10:36:17

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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估计是靶材局部部位剧烈放电的电弧所致。

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5楼2016-05-26 10:36:51

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2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-05-26 07:22:54
检查下靶的冷却水是不是还有，还可以更换下新的靶材试试

做其他的靶材没什么问题，就只有金出现了这个问题

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6楼2016-05-26 10:37:34

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强哥哥哥

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5楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-26 10:36:51
估计是靶材局部部位剧烈放电的电弧所致。

那会是什么原因导致的电弧放电？而且在镀膜过程中，看到等离子体打到靶材上时没发现异常。

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7楼2016-05-26 10:39:26

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aaron5235

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没有水冷？功率太大？

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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能

8楼2016-05-26 22:59:25

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8楼: Originally posted by aaron5235 at 2016-05-26 22:59:25
没有水冷？功率太大？

那为什么熔的只是某一部分，而不是全部？

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9楼2016-05-27 09:10:41

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Joyin1

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功率这么大

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10楼2016-05-27 10:06:57

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