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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办？
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by Joyin1 at 2016-05-27 10:06:57
功率这么大

之前有人做过，说这个功率做的好，你一般用多大功率呢？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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11楼2016-05-27 10:53:22
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Joyin1

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-27 10:53:22
之前有人做过，说这个功率做的好，你一般用多大功率呢？
...

5到8w每平方厘米
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12楼2016-05-27 11:33:00
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by Joyin1 at 2016-05-27 11:33:00
5到8w每平方厘米...

是不是所有金属靶材都按照这个来算的？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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13楼2016-05-27 12:30:24
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Joyin1

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
13楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-27 12:30:24
是不是所有金属靶材都按照这个来算的？
...

我也不确定，别人告诉我的

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14楼2016-05-27 18:44:23
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人觉得也是功率太大了

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PVD ALD CVD
15楼2016-05-28 09:19:58
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焊工

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
功率的确大，做电极顶多几十W就够，Au也属于溅射速率较快的金属之一，但是靶材融化得传上照片看看，估计不仅仅是功率大的问题。
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16楼2016-05-28 09:34:33
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下一站，守候

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主用什么基底啊
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17楼2016-06-16 15:15:21
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 下一站，守候 at 2016-06-16 15:15:21
楼主用什么基底啊

钛靶基底

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18楼2016-06-17 23:48:33
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北京众诚新材

捐助贵宾 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
功率有点大，靶材融化就是功率大造成的
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19楼2016-11-29 17:55:51
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by 北京众诚新材 at 2016-11-29 17:55:51
功率有点大，靶材融化就是功率大造成的

用的300w，不算大

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20楼2016-11-29 18:05:36
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