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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办? 已有11人参与

做了几次磁控溅射黄金电极,功率用的300w,但是其中有两次靶材都熔了个洞,是什么原因造成的?
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
检查下靶的冷却水是不是还有,还可以更换下新的靶材试试

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2楼2016-05-26 07:22:54
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2008100266

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是冷却出了问题,可以试试在靶材后面垫两层锡纸,以增加实际接触面积。

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3楼2016-05-26 07:38:39
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 2008100266 at 2016-05-26 07:38:39
应该是冷却出了问题,可以试试在靶材后面垫两层锡纸,以增加实际接触面积。

如果金靶熔了会不会和锡纸反应,或者粘在一起?

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4楼2016-05-26 10:36:17
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
估计是靶材局部部位剧烈放电的电弧所致。
5楼2016-05-26 10:36:51
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-05-26 07:22:54
检查下靶的冷却水是不是还有,还可以更换下新的靶材试试

做其他的靶材没什么问题,就只有金出现了这个问题

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2016-05-26 10:37:34
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-26 10:36:51
估计是靶材局部部位剧烈放电的电弧所致。

那会是什么原因导致的电弧放电?而且在镀膜过程中,看到等离子体打到靶材上时没发现异常。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2016-05-26 10:39:26
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aaron5235

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没有水冷?功率太大?

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人生在世,俯仰之间,唯有追求卓越,但求尽其所能
8楼2016-05-26 22:59:25
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by aaron5235 at 2016-05-26 22:59:25
没有水冷?功率太大?

那为什么熔的只是某一部分,而不是全部?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
9楼2016-05-27 09:10:41
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Joyin1

新虫 (小有名气)

功率这么大
10楼2016-05-27 10:06:57
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