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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办？
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射Au靶材总是熔化怎么办？已有11人参与

做了几次磁控溅射黄金电极，功率用的300w，但是其中有两次靶材都熔了个洞，是什么原因造成的？
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1楼2016-05-25 23:10:02
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 2008100266 at 2016-05-26 07:38:39
应该是冷却出了问题，可以试试在靶材后面垫两层锡纸，以增加实际接触面积。

如果金靶熔了会不会和锡纸反应，或者粘在一起？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2016-05-26 10:36:17
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
检查下靶的冷却水是不是还有，还可以更换下新的靶材试试

发自小木虫Android客户端
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2楼2016-05-26 07:22:54
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2008100266

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是冷却出了问题，可以试试在靶材后面垫两层锡纸，以增加实际接触面积。

发自小木虫Android客户端
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3楼2016-05-26 07:38:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
估计是靶材局部部位剧烈放电的电弧所致。
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5楼2016-05-26 10:36:51
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