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磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与
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磁控溅射用的黄铜靶，Al靶，Zr靶，前两个在镀膜后非跑道区域发黑，但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错，不知这正不正常。以下分别为黄铜，Al，Zr：   发自小木虫IOS客户端 |
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 薄膜制备与特性 | 磁控溅射镀膜工艺 |
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