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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射后靶材发黑
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与

磁控溅射用的黄铜靶，Al靶，Zr靶，前两个在镀膜后非跑道区域发黑，但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错，不知这正不正常。以下分别为黄铜，Al，Zr：

磁控溅射后靶材发黑


磁控溅射后靶材发黑-1


磁控溅射后靶材发黑-2


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薄膜制备与特性 磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2016-05-13 16:09:05
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

杨柳_njut

新虫 (初入文坛)
发黑很正常，我的靶材也这样。我认为没有什么影响，就没有理它！

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2楼2016-05-13 23:08:58
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cldegg

铜虫 (小有名气)
正常

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walking
3楼2016-05-14 23:47:38
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caojingpie

木虫 (小有名气)
氧化，表面蹭一下就好了

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4楼2016-05-15 07:15:55
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 杨柳_njut at 2016-05-13 23:08:58
发黑很正常，我的靶材也这样。我认为没有什么影响，就没有理它！

真空度高一点会好些吗？我的才2＊10-3Pa

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5楼2016-05-15 08:28:14
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by caojingpie at 2016-05-15 07:15:55
氧化，表面蹭一下就好了

真空度高一点会好些吗？我的才2＊10-3Pa

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6楼2016-05-15 08:28:28
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
真空室脏了，需要清理一下。
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7楼2016-05-15 18:16:37
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mzp123

木虫 (正式写手)
一般在高温情况下会发生氧化吧，实验室老师一般在使用前会打磨一下。好像表面比较好清理

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男儿当自强
8楼2016-05-16 01:29:50
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by mzp123 at 2016-05-16 01:29:50
一般在高温情况下会发生氧化吧，实验室老师一般在使用前会打磨一下。好像表面比较好清理

打磨后用一次就又这样了，就不知道会不会影响膜层质量

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9楼2016-05-16 09:42:19
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
磁控溅射后靶材发黑-3

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10楼2016-05-16 10:11:19
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