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磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与
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磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。以下分别为黄铜,Al,Zr: 发自小木虫IOS客户端 |
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磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急!急!急!
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2楼2016-05-13 23:08:58
cldegg
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3楼2016-05-14 23:47:38
caojingpie
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4楼2016-05-15 07:15:55
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mzp123
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8楼2016-05-16 01:29:50
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9楼2016-05-16 09:42:19
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