24小时热门版块排行榜    

查看: 3040  |  回复: 16

FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与

磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。以下分别为黄铜,Al,Zr:

磁控溅射后靶材发黑


磁控溅射后靶材发黑-1


磁控溅射后靶材发黑-2


发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性 磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

杨柳_njut

新虫 (初入文坛)

发黑很正常,我的靶材也这样。我认为没有什么影响,就没有理它!

发自小木虫Android客户端
2楼2016-05-13 23:08:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

cldegg

铜虫 (小有名气)

walking
3楼2016-05-14 23:47:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caojingpie

木虫 (小有名气)

氧化,表面蹭一下就好了

发自小木虫Android客户端
4楼2016-05-15 07:15:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 杨柳_njut at 2016-05-13 23:08:58
发黑很正常,我的靶材也这样。我认为没有什么影响,就没有理它!

真空度高一点会好些吗?我的才2*10-3Pa

发自小木虫IOS客户端
5楼2016-05-15 08:28:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by caojingpie at 2016-05-15 07:15:55
氧化,表面蹭一下就好了

真空度高一点会好些吗?我的才2*10-3Pa

发自小木虫IOS客户端
6楼2016-05-15 08:28:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
真空室脏了,需要清理一下。
7楼2016-05-15 18:16:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzp123

木虫 (正式写手)

一般在高温情况下会发生氧化吧,实验室老师一般在使用前会打磨一下。好像表面比较好清理

发自小木虫Android客户端
男儿当自强
8楼2016-05-16 01:29:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by mzp123 at 2016-05-16 01:29:50
一般在高温情况下会发生氧化吧,实验室老师一般在使用前会打磨一下。好像表面比较好清理

打磨后用一次就又这样了,就不知道会不会影响膜层质量

发自小木虫IOS客户端
9楼2016-05-16 09:42:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

10楼2016-05-16 10:11:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 FLYFWY 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化学调剂0703 +8 啊我我的 2026-03-11 8/400 2026-03-16 17:23 by 我的船我的海
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考研] 326求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-15 3/150 2026-03-16 07:33 by Iveryant
[基金申请] NSFC申报书里申请人简历中代表性论著还需要在申报书最后的附件里面再上传一遍吗 20+5 NSFC2026我来了 2026-03-10 14/700 2026-03-15 23:53 by 不负韶华的虎
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +5 ZY-05 2026-03-13 6/300 2026-03-14 10:51 by Jy?
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 材料371求调剂 +9 鳄鱼? 2026-03-11 11/550 2026-03-13 22:53 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕288分求调剂 一志愿211 +4 在家想你 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:49 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 285化工学硕求调剂(081700) +6 柴郡猫_ 2026-03-12 6/300 2026-03-13 20:46 by hmn_wj
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 309分请求调剂 +7 dtdxzxx 2026-03-12 8/400 2026-03-13 14:43 by jxchenghu
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 296求调剂 +3 大口吃饭 身体健 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:31 by 学员8dgXkO
[考博] 2026年博士申请 +3 QwQwQW10 2026-03-11 3/150 2026-03-12 17:58 by gxch43
[考博] 读博申请 +5 感dd 2026-03-10 7/350 2026-03-11 17:02 by QGZDSYS
信息提示
请填处理意见