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FLYFWY

木虫 (小有名气)

11楼2016-05-16 10:11:34
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
11楼: Originally posted by FLYFWY at 2016-05-16 10:11:34

黄铜靶背面成了橘红色,连靶底座表面都蒙上了一层银白色东西,严重怀疑靶材有问题。

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12楼2016-05-16 10:12:17
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
12楼: Originally posted by FLYFWY at 2016-05-16 11:12:17
黄铜靶背面成了橘红色,连靶底座表面都蒙上了一层银白色东西,严重怀疑靶材有问题。
...

是不是水冷、真空都有问题?
溅射时热量不能及时导出去
13楼2016-05-16 11:20:12
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

表面被氧化了,处理一下就好
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
14楼2016-05-16 17:31:49
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】

搂住用的靶和我们差不多,但是你们Zr镀的是纯金属吗?用在哪方面啊?多交流

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宁可心在江湖言江湖,不可身在江湖怨江湖!
15楼2016-05-16 20:47:37
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fpei_csu

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by caojingpie at 2016-05-15 07:15:55
氧化,表面蹭一下就好了

为什么会氧化呢,一般出炉温度都要低于100度吧

发自小木虫Android客户端
16楼2016-07-16 16:09:02
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

才看到这个帖子。
首先表面变黑肯定不是正常现象,应该有原因。
总结下现象:
1. Cu和Al都有明显小圈跑道,而跑道区域外显示黑色;Zr整个面都很光洁;
2. Cu拆开后背面的接触铜板也变色,而靶材变成紫铜色。

以下仅分析下可能性,楼主一个一个排除试试。
1. Cu和Al这两个阴极在溅射过程中漏气或漏水,你多关注下溅射过程中的气压或电压变化,或者溅射完毕之后关闭气阀比较沉积前后的本地真空度变化。我怀疑一种可能是温度过高(功率很高么?)导致阴极漏水,只要有微量的水汽就会导致靶材表面氧化;
2. Cu靶材与阴极板之间缝隙较大,不能顺畅导通,间隙放电,背板沉积到了靶材上。你刮刮靶材背面应该会漏出黄铜色。
3. Cu靶和Al靶位置阴极的磁场比较弱?你可以比较下Zr阴极的磁场强度。(或者前两种靶材比Zr厚?)

综上,你还可以验证的方法:
1. 将黄铜靶安装在目前的Zr靶位置,看是否有改变;
2. Cu靶安装更紧固一点,或者背面贴石墨纸。
3. 如果有RGA实时监测真空腔内气氛变化就更好了。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
17楼2018-12-06 14:19:24
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