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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射后靶材发黑
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
磁控溅射后靶材发黑

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11楼2016-05-16 10:11:34
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by FLYFWY at 2016-05-16 10:11:34

黄铜靶背面成了橘红色，连靶底座表面都蒙上了一层银白色东西，严重怀疑靶材有问题。

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12楼2016-05-16 10:12:17
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
12楼: Originally posted by FLYFWY at 2016-05-16 11:12:17
黄铜靶背面成了橘红色，连靶底座表面都蒙上了一层银白色东西，严重怀疑靶材有问题。
...

是不是水冷、真空都有问题？
溅射时热量不能及时导出去
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13楼2016-05-16 11:20:12
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

表面被氧化了，处理一下就好
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
14楼2016-05-16 17:31:49
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】
搂住用的靶和我们差不多，但是你们Zr镀的是纯金属吗？用在哪方面啊？多交流

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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！
15楼2016-05-16 20:47:37
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fpei_csu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by caojingpie at 2016-05-15 07:15:55
氧化，表面蹭一下就好了

为什么会氧化呢，一般出炉温度都要低于100度吧

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16楼2016-07-16 16:09:02
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

才看到这个帖子。
首先表面变黑肯定不是正常现象，应该有原因。
总结下现象：
1. Cu和Al都有明显小圈跑道，而跑道区域外显示黑色；Zr整个面都很光洁；
2. Cu拆开后背面的接触铜板也变色，而靶材变成紫铜色。

以下仅分析下可能性，楼主一个一个排除试试。
1. Cu和Al这两个阴极在溅射过程中漏气或漏水，你多关注下溅射过程中的气压或电压变化，或者溅射完毕之后关闭气阀比较沉积前后的本地真空度变化。我怀疑一种可能是温度过高（功率很高么？）导致阴极漏水，只要有微量的水汽就会导致靶材表面氧化；
2. Cu靶材与阴极板之间缝隙较大，不能顺畅导通，间隙放电，背板沉积到了靶材上。你刮刮靶材背面应该会漏出黄铜色。
3. Cu靶和Al靶位置阴极的磁场比较弱？你可以比较下Zr阴极的磁场强度。（或者前两种靶材比Zr厚？）

综上，你还可以验证的方法：
1. 将黄铜靶安装在目前的Zr靶位置，看是否有改变；
2. Cu靶安装更紧固一点，或者背面贴石墨纸。
3. 如果有RGA实时监测真空腔内气氛变化就更好了。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
17楼2018-12-06 14:19:24
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