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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射后靶材发黑
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与

磁控溅射用的黄铜靶，Al靶，Zr靶，前两个在镀膜后非跑道区域发黑，但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错，不知这正不正常。以下分别为黄铜，Al，Zr：

磁控溅射后靶材发黑


磁控溅射后靶材发黑-1


磁控溅射后靶材发黑-2


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1楼 2016-05-13 16:09:05
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
磁控溅射后靶材发黑-3

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11楼2016-05-16 10:11:34
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杨柳_njut

新虫 (初入文坛)
发黑很正常，我的靶材也这样。我认为没有什么影响，就没有理它！

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2楼2016-05-13 23:08:58
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cldegg

铜虫 (小有名气)
正常

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walking
3楼2016-05-14 23:47:38
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caojingpie

木虫 (小有名气)
氧化，表面蹭一下就好了

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4楼2016-05-15 07:15:55
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