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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与

磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。以下分别为黄铜,Al,Zr:

磁控溅射后靶材发黑


磁控溅射后靶材发黑-1


磁控溅射后靶材发黑-2


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caojingpie

木虫 (小有名气)

4楼2016-05-15 07:15:55
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查看全部 17 个回答

杨柳_njut

新虫 (初入文坛)

发黑很正常,我的靶材也这样。我认为没有什么影响,就没有理它!

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2楼2016-05-13 23:08:58
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cldegg

铜虫 (小有名气)

walking
3楼2016-05-14 23:47:38
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 杨柳_njut at 2016-05-13 23:08:58
发黑很正常,我的靶材也这样。我认为没有什么影响,就没有理它!

真空度高一点会好些吗?我的才2*10-3Pa

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5楼2016-05-15 08:28:14
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