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FLYFWY木虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射后靶材发黑 已有4人参与
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磁控溅射用的黄铜靶，Al靶，Zr靶，前两个在镀膜后非跑道区域发黑，但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错，不知这正不正常。以下分别为黄铜，Al，Zr：   发自小木虫IOS客户端 |
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【答案】应助回帖
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才看到这个帖子。 首先表面变黑肯定不是正常现象，应该有原因。 总结下现象： 1. Cu和Al都有明显小圈跑道，而跑道区域外显示黑色；Zr整个面都很光洁； 2. Cu拆开后背面的接触铜板也变色，而靶材变成紫铜色。 以下仅分析下可能性，楼主一个一个排除试试。 1. Cu和Al这两个阴极在溅射过程中漏气或漏水，你多关注下溅射过程中的气压或电压变化，或者溅射完毕之后关闭气阀比较沉积前后的本地真空度变化。我怀疑一种可能是温度过高（功率很高么？）导致阴极漏水，只要有微量的水汽就会导致靶材表面氧化； 2. Cu靶材与阴极板之间缝隙较大，不能顺畅导通，间隙放电，背板沉积到了靶材上。你刮刮靶材背面应该会漏出黄铜色。 3. Cu靶和Al靶位置阴极的磁场比较弱？你可以比较下Zr阴极的磁场强度。（或者前两种靶材比Zr厚？） 综上，你还可以验证的方法： 1. 将黄铜靶安装在目前的Zr靶位置，看是否有改变； 2. Cu靶安装更紧固一点，或者背面贴石墨纸。 3. 如果有RGA实时监测真空腔内气氛变化就更好了。 |
17楼2018-12-06 14:19:24
2楼2016-05-13 23:08:58
cldegg
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3楼2016-05-14 23:47:38
caojingpie
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4楼2016-05-15 07:15:55
