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FLYFWY

木虫 (小有名气)

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[求助] 磁控溅射后靶材发黑已有4人参与

磁控溅射用的黄铜靶，Al靶，Zr靶，前两个在镀膜后非跑道区域发黑，但Zr就没出现这种情况。镀出来的膜反光都还不错，不知这正不正常。以下分别为黄铜，Al，Zr：

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1楼 2016-05-13 16:09:05

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

才看到这个帖子。
首先表面变黑肯定不是正常现象，应该有原因。
总结下现象：
1. Cu和Al都有明显小圈跑道，而跑道区域外显示黑色；Zr整个面都很光洁；
2. Cu拆开后背面的接触铜板也变色，而靶材变成紫铜色。

以下仅分析下可能性，楼主一个一个排除试试。
1. Cu和Al这两个阴极在溅射过程中漏气或漏水，你多关注下溅射过程中的气压或电压变化，或者溅射完毕之后关闭气阀比较沉积前后的本地真空度变化。我怀疑一种可能是温度过高（功率很高么？）导致阴极漏水，只要有微量的水汽就会导致靶材表面氧化；
2. Cu靶材与阴极板之间缝隙较大，不能顺畅导通，间隙放电，背板沉积到了靶材上。你刮刮靶材背面应该会漏出黄铜色。
3. Cu靶和Al靶位置阴极的磁场比较弱？你可以比较下Zr阴极的磁场强度。（或者前两种靶材比Zr厚？）

综上，你还可以验证的方法：
1. 将黄铜靶安装在目前的Zr靶位置，看是否有改变；
2. Cu靶安装更紧固一点，或者背面贴石墨纸。
3. 如果有RGA实时监测真空腔内气氛变化就更好了。