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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 掺杂浓度-深度分布曲线
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ynn123

新虫 (小有名气)

[交流] 掺杂浓度-深度分布曲线

最近在做硅片掺杂，但由于条件有限没法直接测量浓度-深度分布曲线，哪位大神知道一些间接的方法得到掺杂浓度-深度分布曲线，非常感谢！！！
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1楼 2016-04-27 16:40:47
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
顶顶
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8楼2016-04-27 17:26:57
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sony8620

铁杆木虫 (文学泰斗)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
加油

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12楼2016-04-27 17:41:00
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YFovY

金虫 (小有名气)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
扩散电阻
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18楼2016-04-27 22:36:47
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Glassstone

木虫 (正式写手)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
不能做RBS么？srim结果可以给个参考

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19楼2016-04-27 23:37:35
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by Glassstone at 2016-04-27 23:37:35
不能做RBS么？srim结果可以给个参考

srim主要是针对离子注入的吧，我是想要测试热扩散之后的
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20楼2016-04-28 13:34:02
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by YFovY at 2016-04-27 22:36:47
扩散电阻

指它的方阻吗？
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21楼2016-04-28 13:36:41
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Glassstone

木虫 (正式写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by ynn123 at 2016-04-28 13:34:02
srim主要是针对离子注入的吧，我是想要测试热扩散之后的...

好吧  我们一般用rbs去测。

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22楼2016-04-28 15:14:16
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lihong199417

银虫 (著名写手)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
方阻

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24楼2016-04-28 22:12:56
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taofei

捐助贵宾 (正式写手)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
可否这样做，将硅片切开，将其截面用sem的edx面扫描模式观察，你会看到掺杂元素呈一个个点状分布，统计一下点密度随深度的变化。

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25楼2016-04-28 22:34:12
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lhtly88

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
直接可以用C-V测试方法，间接可以用方阻表征，但方阻仅限表面，误差较大

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26楼2016-05-06 11:07:16
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
26楼: Originally posted by lhtly88 at 2016-05-06 11:07:16
直接可以用C-V测试方法，间接可以用方阻表征，但方阻仅限表面，误差较大

你是指ecv吗？可是我们没有条件测

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27楼2016-05-06 18:49:12
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lhtly88

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
27楼: Originally posted by ynn123 at 2016-05-06 18:49:12
你是指ecv吗？可是我们没有条件测
...

恩！对，这个方法测试比较准确，掺杂浓度与深度的关系可以很直挂观的体现出来

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28楼2016-05-07 16:54:50
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
28楼: Originally posted by lhtly88 at 2016-05-07 16:54:50
恩！对，这个方法测试比较准确，掺杂浓度与深度的关系可以很直挂观的体现出来
...

请问您知道哪里有测这个的吗？
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29楼2016-05-09 10:50:01
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kkll萌宝

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
您好！我想问一下你们是如何将硅片掺杂的？有什么可以推荐的文献吗？拜托拜托
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30楼2016-12-12 11:56:31
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简单回复
逗比的威威2楼
2016-04-27 17:07   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
^_^ 发自小木虫IOS客户端
bluesky20023楼
2016-04-27 17:15   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
guobenshuai4楼
2016-04-27 17:21   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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guobenshuai5楼
2016-04-27 17:21   回复  
画图6楼
2016-04-27 17:22   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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shao07227楼
2016-04-27 17:25   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
slytjiaofei9楼
2016-04-27 17:29   回复  
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zhaoyan197810楼
2016-04-27 17:31   回复  
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nono200911楼
2016-04-27 17:38   回复  
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caledonian13楼
2016-04-27 17:50   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
祝福
tzynew14楼
2016-04-27 18:15   回复  
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psylhh15楼
2016-04-27 18:27   回复  
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gorgan16楼
2016-04-27 18:54   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
ZloveA17楼
2016-04-27 20:03   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
祝福
樱桃子A野口23楼
2016-04-28 17:53   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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