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掺杂浓度-深度分布曲线
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最近在做硅片掺杂,但由于条件有限没法直接测量浓度-深度分布曲线,哪位大神知道一些间接的方法得到掺杂浓度-深度分布曲线,非常感谢!!! |
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8楼2016-04-27 17:26:57
12楼2016-04-27 17:41:00
18楼2016-04-27 22:36:47
19楼2016-04-27 23:37:35
20楼2016-04-28 13:34:02
21楼2016-04-28 13:36:41
22楼2016-04-28 15:14:16
24楼2016-04-28 22:12:56
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
ynn123(金币+1): 谢谢参与
|
可否这样做,将硅片切开,将其截面用sem的edx面扫描模式观察,你会看到掺杂元素呈一个个点状分布,统计一下点密度随深度的变化。 发自小木虫Android客户端 |
25楼2016-04-28 22:34:12
26楼2016-05-06 11:07:16
27楼2016-05-06 18:49:12
28楼2016-05-07 16:54:50
29楼2016-05-09 10:50:01
30楼2016-12-12 11:56:31
简单回复
逗比的威威2楼
2016-04-27 17:07
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
^_^ 发自小木虫IOS客户端
2016-04-27 17:15
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
2016-04-27 17:21
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2016-04-27 17:21
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画图6楼
2016-04-27 17:22
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shao07227楼
2016-04-27 17:25
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
2016-04-27 17:29
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
zhaoyan197810楼
2016-04-27 17:31
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ynn123(金币+1): 谢谢参与

nono200911楼
2016-04-27 17:38
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
caledonian13楼
2016-04-27 17:50
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
祝福
tzynew14楼
2016-04-27 18:15
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
psylhh15楼
2016-04-27 18:27
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
gorgan16楼
2016-04-27 18:54
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
ZloveA17楼
2016-04-27 20:03
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
祝福
樱桃子A野口23楼
2016-04-28 17:53
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