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掺杂浓度-深度分布曲线
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ynn123
新虫
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(幼儿园)
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帖子: 132
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虫号: 3425359
[交流]
掺杂浓度-深度分布曲线
最近在做硅片掺杂,但由于条件有限没法直接测量浓度-深度分布曲线,哪位大神知道一些间接的方法得到掺杂浓度-深度分布曲线,非常感谢!!!
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1楼
2016-04-27 16:40:47
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Glassstone
木虫
(正式写手)
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(幼儿园)
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帖子: 437
在线: 122.4小时
虫号: 2619601
引用回帖:
20楼
:
Originally posted by
ynn123
at 2016-04-28 13:34:02
srim主要是针对离子注入的吧,我是想要测试热扩散之后的...
好吧 我们一般用rbs去测。
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22楼
2016-04-28 15:14:16
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sony8620
铁杆木虫
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(博士)
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帖子: 53644
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虫号: 765301
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
加油
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12楼
2016-04-27 17:41:00
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逗比的威威
2楼
2016-04-27 17:07
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
^_^
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guobenshuai
4楼
2016-04-27 17:21
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
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guobenshuai
5楼
2016-04-27 17:21
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画图
6楼
2016-04-27 17:22
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
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