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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 掺杂浓度-深度分布曲线
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ynn123

新虫 (小有名气)

[交流] 掺杂浓度-深度分布曲线

最近在做硅片掺杂，但由于条件有限没法直接测量浓度-深度分布曲线，哪位大神知道一些间接的方法得到掺杂浓度-深度分布曲线，非常感谢！！！
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1楼2016-04-27 16:40:47
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
26楼: Originally posted by lhtly88 at 2016-05-06 11:07:16
直接可以用C-V测试方法，间接可以用方阻表征，但方阻仅限表面，误差较大

你是指ecv吗？可是我们没有条件测

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27楼2016-05-06 18:49:12
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sony8620

铁杆木虫 (文学泰斗)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
加油

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12楼2016-04-27 17:41:00
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逗比的威威2楼
2016-04-27 17:07   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
^_^ 发自小木虫IOS客户端
guobenshuai4楼
2016-04-27 17:21   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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guobenshuai5楼
2016-04-27 17:21   回复  
画图6楼
2016-04-27 17:22   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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