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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 掺杂浓度-深度分布曲线
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ynn123

新虫 (小有名气)

[交流] 掺杂浓度-深度分布曲线

最近在做硅片掺杂，但由于条件有限没法直接测量浓度-深度分布曲线，哪位大神知道一些间接的方法得到掺杂浓度-深度分布曲线，非常感谢！！！
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1楼2016-04-27 16:40:47
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taofei

捐助贵宾 (正式写手)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
可否这样做，将硅片切开，将其截面用sem的edx面扫描模式观察，你会看到掺杂元素呈一个个点状分布，统计一下点密度随深度的变化。

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25楼2016-04-28 22:34:12
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sony8620

铁杆木虫 (文学泰斗)
★
ynn123(金币+1): 谢谢参与
加油

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12楼2016-04-27 17:41:00
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逗比的威威2楼
2016-04-27 17:07   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
^_^ 发自小木虫IOS客户端
guobenshuai4楼
2016-04-27 17:21   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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guobenshuai5楼
2016-04-27 17:21   回复  
画图6楼
2016-04-27 17:22   回复  
ynn123(金币+1): 谢谢参与
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