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ynn123

新虫 (小有名气)

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[交流] 掺杂浓度-深度分布曲线

最近在做硅片掺杂，但由于条件有限没法直接测量浓度-深度分布曲线，哪位大神知道一些间接的方法得到掺杂浓度-深度分布曲线，非常感谢！！！

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1楼2016-04-27 16:40:47

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taofei

捐助贵宾 (正式写手)

应助: 68 (初中生)
金币: 221.9
帖子: 967
在线: 324.7小时
虫号: 708198

★
ynn123(金币+1): 谢谢参与

可否这样做，将硅片切开，将其截面用sem的edx面扫描模式观察，你会看到掺杂元素呈一个个点状分布，统计一下点密度随深度的变化。

发自小木虫Android客户端

25楼2016-04-28 22:34:12

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