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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 关于SEM的操作？
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念着倒称昵

新虫 (著名写手)

[求助] 关于SEM的操作？ 已有3人参与

对于测定一个薄膜样品材料，为了获得最清晰的图像，如何知道这个材料在进行SEM操作过程中的最佳电子加速电压，最佳光斑大小呢？另外光斑大小数值改变会带来什么影响，越小越好吗？SEM中的 Lens Align的大小代表什么，改变它的数值会有什么影响？求各位大神解答，谢谢？
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1楼 2016-04-25 10:49:36
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念着倒称昵

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2016-04-25 10:51:34
所有的这些，操作人员都很清楚，去了以后，说明要求即可。一般情况下，是在观察过程中逐渐调节到你满意为止。

现在正在学习SEM操作，以后自己去操作，所以想弄明白这些疑问，不想到时候只知道怎么做而不知道内在的原理！
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3楼2016-04-25 11:22:24
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-25 11:20:44
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:14
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:43
所有的这些，操作人员都很清楚，去了以后，说明要求即可。一般情况下，是在观察过程中逐渐调节到你满意为止。
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青出于蓝而胜于蓝
2楼2016-04-25 10:51:34
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奕奕

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-26 15:00:04
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:08
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:49
这个无法确定最佳，就像楼上说的，要在测试过程中调整。加速电压是影响电子穿透深度，加速电压越大，获得材料表面细节越少，假如你的样品已经很薄了，那就要采取很低的加速电压。光斑或者束流是影响分辨率，光斑越小，能看到的细节越多，但是相应的信噪比会小，可能看起来会有很多毛刺，尤其是高倍的时候。这些参数也受电镜类型的影响，钨灯丝跟场发射的差别很大的。
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4楼2016-04-26 08:26:51
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atlasxm

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-26 15:00:12
念着倒称昵: 金币+1 2016-04-27 16:07:03
念着倒称昵: 金币+1 2016-05-12 10:22:54
SEM没有光斑的概念，可以选择不同的光阑，不同孔径会有不同的效果。加速电压、工作距离、光阑孔径都需要自己多尝试。至于lens align就不要乱动了，我怎么感觉是售后工程师才能动的东西，涉及仪器校准对中之类，不会别瞎摆弄。
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5楼2016-04-26 08:52:30
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